Infinitesima的革命性Metron3D计量系统可为下一代半导体实现在线3D工艺控制

　　英国阿宾顿, Aug. 23, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima很高兴地宣布已完成Metron3D 300mm在线晶圆计量系统的增产投资轮融资，将从2022年第四季度开始支持客户出货。

　　Metron3D系统采用公司经过验证的快速探针显微镜(RPM)技术以及领先行业供应商的模块，可实现最大性能和可靠性。该系统设计用于实现高吞吐量、全自动、在线生产工艺控制，以满足先进半导体工艺对高分辨率3D计量日益增长的需求。

　　Infinitesima首席技术官兼创始人Andrew Humphris教授表示：“我们独特的高速探针技术加上行业对在线3D计量日益增长的需求带来了强大的客户参与度，我们对此倍感振奋。

　　此轮投资由Wonik Investment Partners领投，该公司是领先的韩国国际企业Wonik旗下的子公司，拥有包括半导体材料和设备在内的广泛业务经营范围。

　　Wonik Investment Partners总裁Dong Su Kim表示：“我们认识到Infinitesima的巨大增长机会，其独特的3D计量技术和经验丰富的团队能够满足下一代半导体对工艺控制日益增长的挑战性需求。”

　　Infinitesima董事长兼ARC InterCapital创始人Andrew Dixon表示：“在我们为领先的半导体制造商引入Metron3D之际，我们很高兴欢迎Wonik Investment Partners作为共同投资者和合作伙伴。”

　　关于Infinitesima

　　Infinitesima Limited是英国一家半导体行业先进计量解决方案的领先企业。公司率先推出了一项创新技术，将原子力显微技术的三维表面探测能力与高速激光激活、高精度干涉测量系统以及高速探针显微镜 (RPM) 相结合，此项技术受到广泛的专利组合保护。

　　公司的RPM技术已由领先的半导体设备公司作为模块集成在其生产线上，并由领先的半导体制造商使用。

　　半导体制造商越来越需要更高分辨率的3D计量解决方案来控制当前光学和电子波束技术无法解决的下一代工艺。Infinitesima推出了采用其RPM专利技术的高速计量系统Metron3D，以满足客户对在线亚纳米*3D工艺控制不断增长的需求。

　　* 1纳米 (nm) 为1米的10-9(单硅原子直径约为0.2nm)。

　　附件

　　Infinitesima Press Release investment round - rev6 23-08-22.pdf

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　　John Cossins, Business Development and Marketing, Director

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　　Peter Jenkins, CEO

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